Halbleiter-Gassensoren

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Am Institut für Physik an der Universität der Bundeswehr München wurden Gassensoren entwickelt, die eine Vielzahl von Grenzwerten überwachen können. Sie erkennen Gase, die oftmals in mehrfacher Hinsicht gefährlich sind, da sie geruchlos, giftig und explosiv sind. Außerdem warnen sie vor einem erhöhten Ozongehalt. In der Automobilindustrie dienen Gassensoren dazu, die Luft im Fahrzeuginneren zu optimieren. Solche Sensoren können z.B. auch in ein Mobiltelefon integriert werden und den Alkoholgehalt im Atem messen. Professor Ignaz Eisele mit seinem Team hat Gassensoren entwickelt, die auf MOS (Metal-Oxide-Semiconductor) Transistoren basieren. Allerdings sitzt die Steuerelektrode nicht direkt auf der Oberseite des Siliziumchips, sondern ist mit etwas Abstand darüber montiert. In den dadurch entstehenden Luftspalt können Gase eindringen. Wenn die Steuerelektrode mit einer speziellen chemisch empfindlichen Schicht belegt ist, ändert sich deren Spannung und damit der Stromfluss im Transistor.

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