Das Projekt soll dabei helfen, die Markteinführung europäischer industrieller Innovationen in der Quantentechnologie zu beschleunigen und den Aufbau einer vertrauenswürdigen Lieferkette zu unterstützen. Das Fraunhofer IPMS bringt dabei seine Expertise in der CMOS-Halbleiterfertigung im 300-mm-Waferstandard ein.

Die gebündelten Pilotlinien sind in vier Technologieplattformen unterteilt, die auf bestehenden und in der Entwicklung befindlichen Pilotlinien in ganz Europa basieren. Diese konzentrieren sich auf die vier Ansätze supraleitende, photonische, halbleitende und Diamanttechnologien.

Die Technologieplattformen ...

bieten Lösungen für unterschiedliche Anwendungen. Die supraleitende Technologie ist laut Fraunhofer IPMS eine der am weitesten verbreiteten Plattformen für Quantenbauelemente. Im Großen und Ganzen sind supraleitende Schaltkreise und Ionenfallen die ausgereiftesten Plattformen für Quantencomputer, während Photonik und Stickstoff-Leerstellen (NV) in Diamant in der Quantenkommunikation dominieren. Diamant ist auch als geeignete Plattform für die Sensorik anerkannt.


Das Fraunhofer IPMS ...

bringt seine Expertise in der CMOS-Halbleiterfertigung im 300-mm-Waferstandard ein, um die Halbleiter- und Supraleiterplattformen voranzutreiben. Dies betrifft z. B. Herstellungsprozesse wie Abscheidung und Nanostrukturierung oder elektrische Charakterisierung im Wafermaßstab. Ein Schwerpunkt ist die Verbesserung der Metallisierung und der BeoL-Module. Es werden mehrere technologische Module für supraleitende lokale und globale Verbindungen optimiert, die für die integrierte Anregung, die Steuerung und das Auslesen von Halbleiter-Qubits unerlässlich sind.

Endziel ist die Demonstration eines verbesserten Prozesses und von Materialien für verlustarme supraleitende Elektroden sowie die Demonstration eines supraleitenden BeoL-Moduls, das mindestens eine Via- und Trench-Ebene umfasst.

 
Am Qu-Pilot-Projekt …

arbeiten 21 Partner aus 9 Ländern zusammen. Es wird von der Europäischen Union mit 19 Millionen Euro unter dem Projektcode 101079926 finanziert. Das Projekt hat im April 2023 begonnen und hat eine Laufzeit von 3,5 Jahren. Die Auftaktveranstaltung fand am 19. April 2023 in Prag statt.