Drucksensor-Dies für Automotive und IoT

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TDK präsentiert miniaturisierte Epcos MEMS-Drucksensor-Dies. Die Automotive-Typen der Serie C33 haben Abmessungen von 1 x 1 x 0,4 mm3 und sind nach eigener Angabe mit die kleinsten ihrer Art.



Sie sind für Absolutdrücke von 1,2 bar bis 10 bar ausgelegt und in Anlehnung an AEC Q101 qualifiziert. Ihre typische Betriebsspannung liegt bei 3 V. Abhängig vom Typ bieten sie Sensitivitäten von 15 mV/bar bis 80 mV/bar bei einer Versorgungsspannung von 5 V. Geeignet sind die Sensoren für einen Temperaturbereich von -40 °C bis +135 °C und können kurzzeitig auch mit 140 °C beaufschlagt werden. Ein Leistungsmerkmal ist die Langzeitstabilität von ± 0,35% FS (Full scale).

 

Speziell für IoT- oder Consumer-Applikationen eignet sich der Typ C39 mit einem Footprint von 0,65 x 0,65 mm2 und einer Bauhöhe von 0,24 mm. Ausgelegt ist der Typ C39 für einen Absolutdruck von 1,2 bar und bietet ebenfalls eine Langzeitstabilität von ± 0,35% FS. Alle Drucksensor-Dies basieren auf dem piezoresistiven Prinzip und liefern über eine Wheatstone-Brücke ein analoges Signal, das proportional zum anstehenden Druck und der Versorgungsspannung ist.

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