Der kapazitive Drucksensor kann Druckdifferenzen von ±1 Pa messen, wodurch der ICP-10100 Höhenunterschiede von weniger als 5 cm erkennen kann. Mit einem Temperaturkoeffizienten von ± 0,5 Pa/°C kann der temperaturstabile, kapazitive MEMS-Drucksensor über weite Temperaturbereiche und in einer Vielzahl von Anwendungen arbeiten.
Zusätzlich zum ICP-10100 in einem 2mm x 2 mm x 0,72 mm großen, wasserdichten Gehäuse (bis 1,5 m) bemustert InvenSense für ausgewählte Kunden die ICP-101xx Drucksensor-Familie in einem 2mm x 2,5mm x 0,92mm großen Standardgehäuse.