STMicroelectronics hat gemeinsam mit Forschungspartnern die Entwicklung einer Pilotlinie für MEMS-Bauelemente gestartet. Diese werden Technologien wie piezoelektrische oder magnetische Materialien sowie 3D-Gehäuse enthalten. Gestartet wurde das Projekt vom European Nanoelectronics Initiative Advisory Council (ENIAC) Joint Undertaking (JU), einer öffentlich-privaten Partnerschaft auf dem Gebiet der Nanoelektronik.
Bei der Koordination des Lab4MEMS-Projekts mit einer Laufzeit von 30 Monaten und einem Volumen von 28 Mio. Euro arbeitet ST mit Universitäten, Forschungsinstitutionen und Technologieunternehmen aus neun europäischen Ländern zusammen. Das Projekt nutzt die MEMS-Einrichtungen von ST in Frankreich, Italien und Malta.
Im Rahmen des Projekts werden Technologien wie etwa piezoelektrische PZT-Dünnschichtstrukturen als Ergänzung zu den jetzigen, rein auf Silizium basierenden MEMS-Komponenten entwickelt. Dies wird Verbesserungen wie eine größere Auslenkung, erweiterte Sensor-Funktionalität und eine höhere Energiedichte ermöglichen.
Diese werden für die Herstellung von intelligenten Sensoren, Aktoren, Mikropumpen und Energy Harvestern benötigt, die auf die Anforderungen künftiger Datenspeicher-, Tintenstrahl-, Healthcare-, Automotive-, Industriesteuerungs- und Smart-Building-Applikationen ebenso zugeschnitten sind wie auf Konsumer-Anwendungen (z. B. Smartphones und Navigationsgeräte).
Darüber hinaus wird das Projekt fortschrittliche Gehäusetechnologien und vertikale Verbindungen mithilfe der Flip-Chip-Technik, Through-Silicon-Vias und Through-Mold-Vias entwickeln. Damit werden die Voraussetzungen für 3D-integrierte Bauelemente beispielsweise für Body-Area-Sensoren und Fernüberwachungs-Anwendungen geschaffen.
Ein wichtiges Ziel ist die Perfektionierung eines für die Massenproduktion geeigneten PZT-Abscheidungsprozesses und dessen Integration in komplexe MEMS-Prozesse. Damit wird die Implementierung innovativer Aktoren und Sensoren auf industriellen System-on-Chip-Produkten möglich.
Lab4MEMS gehört zu den Key Enabling Technologies (KET) Pilot-Line-Projekten, die von ENIAC JU zur Entwicklung von Technologien und Anwendungsgebieten wurden. ENIAC JU ist eine öffentlich-private Partnerschaft, an der die ENIAC-Mitgliedsstaaten, die Europäische Union und die Association for European Nanoelectronics Activities (AENEAS) beteiligt sind.
Die Organisation steuert zurzeit etwa 1,8 Mrd. Euro zu den Kosten der F&E-Projekte bei, die jeweils auf einen Call for Proposals hin im Rahmen eines Wettbewerbs ausgewählt werden. Das von ST koordinierte Lab4MEMS-Projekt wurde 2012 ausgewählt und nahm im Januar 2013 seine Arbeit auf.
