Schwerpunkt von Lab4MEMS II sind MOEMS-Bauelemente (Micro-Opto-Electro-Mechanical Systems), die MEMS-Technik und Mikrooptik kombiniert, um optische Signale mithilfe mechanischer, optischer und elektrischer Systeme zu erfassen oder zu manipulieren. Das ursprüngliche Projekt bleibt parallel dazu auf die Entwicklung einer Pilotfertigung für MEMS-Komponenten der nächsten Generation ausgerichtet, die durch piezoelektrische oder magnetische Materialien und 3D-Packaging unterstützt werden.


Wie das Schwesterprojekt wird auch Lab4MEMS II vom European Nanoelectronics Initiative Advisory Council (ENIAC) Joint Undertaking (JU), einer öffentlich-privaten Partnerschaft im Bereich der Nanoelektronik, ins Leben gerufen.


Zusammenarbeit von 20 Partnern

Lab4MEMS II ist ein Projekt mit einem Budget von 26 Mio. Euro und 20 Partnern aus Industrie, Wissenschaft und Forschung, die sich auf neun europäische Länder verteilen. Das Projekt konzentriert sich auf das Design, die Herstellung und das Testen von Bauelementen, die optische Schalter, Mikrospiegel-Arrays, optische Cross-Connects, Laser und Mikrolinsen enthalten. Dabei werden Mikrooptik-Verfahren und standardmäßige Mikrobearbeitungs-Verfahren für die Miniaturisierung und den Bau hoch entwickelter optischer Systeme eingesetzt.


Plattform für innovative Bauelemente

Die MOEMS-Technik ist eine Plattform für optische Schalter, Mikrospiegel-Bauelemente und dynamische Displays sowie bistabile Bauelemente und optische Verschlüsse. Letztere eignen sich für Mikroprojektoren, Laser-Mikroscanner, eine neue Generation von Mensch-Maschine-Schnittstellen sowie Mikro-Spektrometer. Zu den Zielen des Projekts gehören die Optimierung der Produktion von doppelten einachsigen Spiegeln sowie die Erforschung von Möglichkeiten zur Entwicklung des zweiachsigen Einzelspiegels.


Die Pilotfertigung für Lab4MEMS II wird die bereits in Betrieb befindliche 200-mm-Waferfertigungsstätte von ST in Agrate Brianza erweitern und das Portfolio durch optische Technologien ergänzen.



Öffentlich-private Partnerschaft

Bei ENIAC JU handelt es sich um eine öffentlich-private Partnerschaft, an der neben den ENIAC-Mitgliedsstaaten auch die Europäische Union und die Association for European Nanoelectronics Activities (AENEAS) beteiligt sind. Die Organisation steuert derzeit einen Betrag von rund 1,8 Mrd. Euro zu den Kosten der F&E-Projekte bei, die im Rahmen eines Wettbewerbs aus den Einreichungen zu einem Call for Proposals hin ausgewählt werden.


Das von ST koordinierte Projekt Lab4MEMS II wurde im Herbst 2013 für die Finanzierung gewählt und nahm im November 2014 seine Arbeit auf.



Beteiligte Institute und Unternehmen

Neben ST sind am Projekt Lab4MEMS II die folgenden Partner beteiligt: das Politecnico von Turin und Mailand, das Consorzio Nazionale Interuniversitario per la Nanoelettronica, CNR-IMM MDM, Commissariat Al Energie Atomique Et Aux Energies Alternatives, Arkema, die Universität Malta, Okmetic Oyj, Murata Electronics, VTT Memsfab, Teknologian tutkimuskeskus VTT, die Aalto University, KLA-Tencor ICOS, die Polytechnische Universität Bukarest - CSSNT, das Instytut Technologii Elektronowej in Warschau, Stiftelsen SINTEF, Polewall und Besi Austria.