07.05.2008

Sensor Innovationspreis 2008 verliehen




Zum achten Mal hat der AMA Fachverband für Sensorik e.V. auf der Messe Sensor +Test den Sensor Innovationspreis verliehen. Die mit 10.000 Euro dotierte Ehrung geht direkt an Entwickler. Diesmal gewann ein Dreierteam aus Dr. Norbert Neumann (InfraTec GmbH, Dresden), Dr. Karla Hiller (TU Chemnitz - ZMT) und Dr. Steffen Kurth (Fraunhofer IZM Chemnitz). Ihr Projekt war ein spektral durchstimmbarer Infrarot-Detektor mit mikromechanischem Fabry-Perot-Filter.

 

Die Infrarot-Sensorik und -Messtechnik hat ein breites Anwendungsspektrum in der Analyse von Gasen, Flüssigkeiten und Oberflächen. Bisher hatte der Anwender die Wahl zwischen kompakten Sensoren auf Filterbasis (NDIR), die nur in einem Wellenlängenbereich arbeiten und aufwändigen spektrometrischen Lösungen. Seit langem wird daher versucht, das gut miniaturisierbare Fabry-Perot-Interferometerprinzip zur Realisierung durchstimmbarer, mikromechanischer IR-Filter einzusetzen. Mit dem vorgelegten in Volumen-Mikromechanik realisierten System ist es gelungen, ein leistungsfähiges Modul mit guter spektraler Auflösung und hoher optischer Qualität zu realisieren, das Anwendungen von der Umwelt- über die Sicherheits- bis zur Medizintechnik erschließt.


 


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