MEMS-Inertialsensoren für die Bauwerksüberwachung

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First Sensor bringt kapazitive Silizium-Inertialsensoren auf den Markt, die auf Anwendungen in der Bauwerksüberwachung zielen. Die Sensoren können Vibrationen oder Neigungsänderungen an Windkraftwerken, Brücken oder Hochhäusern erfassen. Sie bestehen aus einem Silizium-Sensorelement in Verbindung mit einer ASIC-Signalverarbeitung in einem hermetisch abgeschlossenen SMD-Gehäuse.



Die Inertialsensoren erreichen je nach Bandbreite Auflösungen von 10µg bzw. 0,0005° (2 Bogensekunden). Neben Standardmodellen entwickelt First Sensor auch mechanisch und elektrisch auf spezielle Kundenanwendungen angepasste Module. Zur Unterstützung von Projekten und Entwicklern stehen Evaluation-Kits für die Auswertung und Konfiguration der Sensoren zur Verfügung.


Als Neigungssensoren mit Messbereichen von ±30° erreichen die Sensoren eine Rauschdichte kleiner 0,0004°/√Hz und Auflösungen kleiner 0,0015° bei einer Messfrequenz von 10 Hz. Als Beschleunigungssensoren eingesetzt, bieten die MEMS Messbereiche von ±3 g, ±8 g sowie ±15 g und erreichen eine Rauschdichte kleiner 30 µg/√Hz und Auflösungen kleiner 40 bis 95 µg bei einer Messfrequenz von 10 Hz.

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