MEMS-Drucksensoren

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Melexis präsentiert zwei Drucksensoren, die laut Hersteller hohe Empfindlichkeit und Linearität bieten. Die Automotive-qualifizierten (AEC-Q100), diskreten MEMS-Sensoren MLX90815 und MLX90816 messen den absoluten Druck. Der MLX90815 eignet sich für Drücke zwischen 0 und 30 bar (absolut); der MLX90816 für 30 bis 50 bar (absolut).



Die maximale Linearitätsabweichung beider Bausteine beträgt 0,2% FS. Die Empfindlichkeit des MLX90815 liegt bei 1,5mV/V/bar; die des MLX90816 bei 0,5mV/V/bar.

 

Das Sensorelement der MEMS-Bausteine besteht aus einer piezoresistiven Wheatstone-Brücke, die mit einer mikrobearbeiteten Silizium-Druckmembran verbunden ist, die in Melexis‘ eigener Prozesstechnik gefertigt wurde. Wird Druck auf die Membran ausgeübt, ergibt sich eine Differenzspannungsänderung über den Ausgängen der Wheatstone-Brücke, wenn eine Vorspannung an den Brückeneingängen anliegt.

 

Der MLX90815 und MLX90816 können durch Melexis‘ Sensorschnittstellen-ICs (z.B. MLX90320) unterstützt werden, um die Aufbereitung des Ausgangssignals durchzuführen.

 

Jeder Sensor bietet einen Betriebstemperaturbereich von -40 bis 150 °C und garantiert laut Melexis einen stabilen Betrieb unter rauen Umgebungsbedingungen. Die Bausteine lassen sich direkt in herkömmliche nicht-korrosive/nicht-aggressive Medien oder in ölgefüllte Sensormodule für höhere Robustheit verbauen.

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