MEMS-Drucksensor

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Der LPS001WP von STMicroelectronics ist ein Drucksensor, der Drücke - und damit auch Höhen - mit hoher Auflösung messen kann. Der Betriebsdruckbereich des Sensors von 300 bis 1.100 Millibar entspricht dem Luftdruck in einem Bereich von -750 bis +9.000 Meter bezogen auf Meereshöhe. Der Drucksensor registriert Druckänderungen von 0,065 Millibar, was einer Höhendifferenz von 80 cm entspricht. Die Produktion des LPS001WP erfolgt mit einer proprietären Technologie von ST mit der Bezeichnung Vensens, die die Fabrikation des Drucksensors auf einem monolithischen Siliziumchip ermöglicht.

 

Das im LPS001WP enthaltene Drucksensor-Element basiert auf einer flexiblen Silizium-Membran, die sich über einer luftgefüllten Kavität von kontrollierter Weite und definiertem Druck befindet. Die Membran ist verglichen mit traditionellen mikrobearbeiteten Silizium-Membranen sehr klein und durch eingebaute mechanische Anschläge vor Beschädigungen geschützt. In die Membran ist ein Piezowiderstand integriert. Der elektrische Widerstand dieser winzigen Struktur verändert sich, sobald sich die Membran infolge von Änderungen des von außen einwirkenden Drucks biegt. Die Widerstandsänderung wird erfasst, temperaturkompensiert und in einen digitalen Wert verwandelt, der über ein standardisiertes Kommunikationsprotokoll (I2C oder SPI) vom Host-Prozessor des jeweiligen Geräts ausgelesen werden kann. Ein integrierter Temperatursensor ermöglicht eine Temperaturkompensation.

 

Der Drucksensor ist ab Dezember 2010 zu einem Preis von typisch 2,80 US-Dollar (ab 1.000 Stück) lieferbar.

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