11.05.2018

MEMS-Drucksensor für extremen Niedrigdruck

SMI (Silicon Microstructures), eine Tochtergesellschaft von Elmos, stellt mit der SM933X-Serie MEMS-Drucksensoren für extremen Niedrigdruck vor. Der vollständig temperaturkompensierte und druckkalibrierte Sensor mit Druckbereichen von 125 Pa (0,50inch/1,27cm inH2O) ermöglicht die Druckmessung in Klimatisierungen sowie industriellen und medizinischen Anwendungen.


Bild: SMI

Die Ausgangsgenauigkeit (1% FS) und Langzeitstabilität ist laut Elmos weltweit branchenführend.

 

Der Sensor ist in zwei Konfigurationen erhältlich: SM9333 mit einem Druckbereich von +/- 125 Pa (0,50inch inH2O) und SM9336 mit einem Druckbereich von +/- 250 Pa (1inch / 2,54cm in H2O). Der Gesamtgenauigkeitsfehler nach Aufbringung auf der Platine und System-Level-Autozero beträgt weniger als 1% FS über den gesamten kompensierten Temperaturbereich von -20° bis 85°C. Die 16-Bit-Auflösung bietet die Möglichkeit, Signale bis zu 0,0038 Pa zu verarbeiten.

 

Die Systemversorgung reicht von 3,0 bis 5,5 V und istnach Anbieterangabe für Low-Power-Anwendungen mit geringer Stromaufnahme, zusätzlich optimiert durch den verfügbaren Sleep-Modus, entwickelt worden.

 

Das SO16-Gehäuse mit doppelt vertikalem Anschluss ermöglicht eine einfache Systemintegration und Druckverbindung.


 


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