Die Durchfluss-Sensor Familie basiert auf der CMOSens-Technologie von Sensirion und ist für Laboranalytik und den Industrieeinsatz vorgesehen. Die Sensoren wiedegn 7g und sind 5cm lang.

Wie funktioniert die Flüssigkeits-Durchflussmessung hier?

Die Flüssigkeitssensoren der Serie SLF3x nutzen die CMOSSens-Technologie des Herstellers und damit ein thermisches Messprinzip.

Ein mikroskopisch kleines Heizelement fügt der Flüssigkeit dabei eine winzige „Wärmewolke“ hinzu, die durch die Strömung verformt wird. Zwei Mikrosensoren messen die Temperatur vor und nach dem Heizelement und erfassen die Verformung der Wärmewolke, die sich als Temperaturdifferenz zwischen den beiden Sensoren darstellt. Dieser Wert wird vom Mikrochip in eine kalibrierte und linearisierte Durchflussrate umgerechnet und ausgegeben.

Um die Strömung nicht zu stören und den Sensorchip vor Medieneinflüssen zu schützen, ist der Mikrosensorchip außerhalb des Kanals angebracht. Die Durchflussmessung erfolgt somit durch die Kanalwand hindurch, d. h. sowohl die Wärme des Heizelements als auch die Signale der beiden Temperatursensoren durchdringen die Membran. Daher haben die thermischen Eigenschaften der Membran großen Einfluss auf die Leistung des Sensors.


Nutzung einer Stahlmembran

Sollen hohe Flussraten gemessen werden, muss die Wärme effektiv in den Flusskanal eingebracht werden. Dafür wurde die Produktfamilie mit einer Stahlmembran ausgestattet. Sie ermöglicht beim Modell SLF3S-1300F einen Messbereich bis 65ml/min und einen breiteren Durchflussbereich. Typ SLF3S-4000B kann z.B. Durchflüsse bis 1.000 ml/min messen.
 

Medienkompatibilität

Das zu messende Medium kommt im Sensor nur mit drei Materialien in Kontakt. Alle benetzten Materialien (Stahlmembran, Polyphenylsulfid, Epoxid) sind inert, was die chemische und biologische Verträglichkeit gewährleistet.

Der Durchfluss kann bidirektional gemessen werden. Der Sensor ist sowohl für sehr dynamische Flüsse als auch für Flüssigkeiten mit hoher Viskosität geeignet. Ein Einsatz ist in Medizin und Life Sciences, Diagnostik, Halbleiterindustrie, Fabrikautomation und Energiemanagement-Anwendungen vorgesehen.


Durchfluss und zusätzlich Wärmeleitfähigkeit erfassen

Der SLF3C-1300F hat innerhalb der Serie ein Alleinstellungsmerkmal. Er misst neben dem Durchfluss zusätzlich die Wärmeleitfähigkeit der Flüssigkeit und kann diese weiter analysieren. Das ist nützlich für

•  Konzentrationsüberwachung: Messen der Konzentration von Zweikomponentengemischen wie Öl oder Glykol in Wasser.
•  Genauigkeitsprüfung: Sicherstellen, dass die Flüssigkeit mit der kalibrierten Flüssigkeit identisch ist, um eine genaue Durchflussmessung zu gewährleisten.

Die Modelle SLF3S-0600F und SLF3S-1300F sollen ab Q4/2024 unter den Namen SLF3S-0600D und SLF3S-1300D auch für Downmount/Manifold-Montage erhältlich sein.
Evaluation Kit SLF3x


Entwicklungsuntersützung und Tools

GLYN bietet für jeden Flow-Sensor ein spezielles Evaluation Kit an. Solch ein Kit besteht aus dem Sensor, einer Montageklammer, Flachbandkabel und einem USB-Sensorkabel, um den Sensor direkt am PC auswerten zu können. Für die Modelle Sensoren mit den 1/4-28-UNF Ports werden auch fluidische Anschlüsse mitgeliefert.

Die ControlCenter Software kann kostenfrei bei Sensirion heruntergeladen werden.