Der werkskalibrierte MEMS-Sensor realisiert eine Druckmessung in gasförmigen und flüssigen Medien von 2 bis 70 bar. Sein digitaler SENT-Ausgang liefert absolute Druckinformationen sowie Diagnose- und Temperaturdaten.

Der MLX90834 basiert auf der Triphibian-Technologie des Herstellers. Dieser MEMS-Sensoraufbau ermöglicht Druckmessungen in gasförmigen und flüssigen Medien bei Drücken bis zu 70 bar. Dafür wird ein spezieller Aufbau genutzt, der aus einem aufgehängten Ausleger mit einer Membran an der Spitze besteht und in einem SO16-Gehäuse untergebracht ist.

Über den Sensor mit digitalem SENT erhält das System die Druck- und Temperaturdaten. Der Sensor lässt sich mit externen NTCs koppeln, und die Werkskalibrierung erreicht eine Genauigkeit von besser als ±1°C in erweiterten Temperaturbereichen.

Die Druckmessung leitet die äquivalente Temperatur des Mediums ab, wenn es in Sättigung vorliegt (Koexistenz von Flüssigkeit und Gas im Verdampfer). Der NTC stellt die tatsächliche Temperatur der Flüssigkeit bereit, wobei die Differenz zwischen den beiden Werten dem Grad der in der Flüssigkeit erreichten Überhitzung entspricht.

Technische Details

Der MLX90834 enthält eine Sensorausleseschaltung, digitale Hardware, Spannungsregler und digitale Ausgangstreiber. In die Membran implantierte piezoresistive Elemente bilden eine Wheatstone-Brücke, um ein Eingangssignal zu erzeugen. Dieses wird verstärkt und in ein digitales Format umgewandelt, so dass die 16-Bit-Digitalsignalverarbeitung (DSP) eine Temperaturkompensation vornehmen kann, bevor das Ergebnis als digitaler Ausgang (SENT) bereitgestellt wird.

Der Sensor ist mit Schutz gegen Überspannung (>+40V) und Verpolung (<-40V) ausgestattet und eignet sich für Anwendungen in Fahrzeugen. Der MLX90834 wurde als „Safety Element out of Context“ (SEooC) gemäß ISO 26262 entwickelt und ermöglicht eine Systemintegration bis ASIL C.