Der Quarzdrucksensor XP-6000CA von Epson Toyocom hat eine QMEMS Druckmessstruktur, durch die der Sensor in eine kleines 7,0 × 5,00 × 2,0 mm Gehäuse passt und dabei Druckmessungen bis 130 kPa mit einer Auflösung 0,3 Pa bringt.
Hauptmerkmale des Sensors sind:
- Druckgenauigkeit: ±30 Pa max.
- Auflösung: 0,3 Pa
- Druckmessbereich: 30 kPa bis 130 kPa
- Betriebstemperaturbereich: -40º C bis +85º C
- Abmaß: 7,0 × 5,0 × 2,0t mm