Die Drucksensormodule MS5803 bestehen aus einem Dickschicht-Hybrid-Substrat, auf dem eine piezoresistive Absolutdruckmesszelle und ein ASIC aufgebracht sind (Kera-miksubstrat: 6,4 x 6,2 mm2). Der Versorgungsspannungsbereich liegt zwischen 1,8 und 3,6 V.

Das Modul wandelt jeweils die gemessenen druck- und temperaturabhängigen Signale der Messzelle zyklisch in ein 16 bit Datenwort. Zusätzlich sind in dem Modul sechs individuelle Koeffizienten abgelegt, die nach der Produktion individuell ermittelt und gespeichert werden. Mit Hilfe dieser Koeffizienten und der aktuellem Messwerte können mit einem Algorithmus in einem externen Mikroprozessor die Druck- und Temperaturmessung berechnet werden. Ein I²C-Interface/SPI-Interface dient zur seriellen Kommunikation mit dem Mikroprozessor. Über diese digitalen Schnittstellen kann auch die Konversionszeit und damit die Reaktionszeit und der Stromverbrauch während der Messung eingestellt werden.

Der totale Fehler liegt im Temperaturintervall von -25 und 85°C bei ± 1 mbar und entspricht damit 0,1% FS. Wichtig für anspruchsvolle Messaufgaben ist die Stabilität, die mit 1 mbar/Jahr = 0,1%FS angegeben wird. Das bedeutet, dass sich das Signal des Sensors in 10 Jahren sich um max. 1% FS ändern darf.

Der MS5803 ist für die folgenden Druckmessbereiche verfügbar: 10-1300mbar (für barometrische Messung), 10-2.000 mbar, 0-5, 0-7, 0-14, 0-30 bar.