Durch die "Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland" werden im ersten Schritt insgesamt 13 beteiligte außeruniversitäre Forschungseinrichtungen mit modernsten Geräten und Anlagen ausgestattet. Der Fraunhofer-Verbund Mikroelektronik sowie das Ferdinand-Braun-Institut, Leibniz-Institut für Höchstfrequenztechnik und das Leibniz-Institut für innovative Mikroelektronik erhalten dafür rund 350 Millionen Euro.

In einem zweiten Schritt sollen ab 2018 mit weiteren 50 Millionen Euro solche Investitionen für die Mikroelektronik an Hochschulen gefördert werden, die die Forschungsschwerpunkte in der Forschungsfabrik inhaltlich ergänzen und die besonderen Kapazitäten der Hochschulen auf dem Gebiet berücksichtigen.

Das für die "Forschungsfabrik Mikroelektronik Deutschland" entwickelte Konzept sieht vor, die technologischen Fähigkeiten in einem gemeinsamen Technologiepool zusammenzuführen, Ausstattungslücken zu schließen und die Laborlinien für Mikroelektronik-Technologien zu erneuern. In vier sogenannten Technologieparks wird die Arbeit auf folgende zukunftsrelevante Themenfelder konzentriert: Neueste Siliziumtechnologien für die Sensorik sowie Aktorik und Informationsverarbeitung, Halbleiter mit modernsten Materialien für Energiespar- und Kommunikationstechnik, neuartige Kombinationen von Silizium- und anderen Halbleitern für das Internet der Dinge und Entwurf, Test und Zuverlässigkeit für Qualität und Sicherheit. Insgesamt werden mehr als 2.000 Wissenschaftlerinnen und Wissenschaftler mitwirken.

Regional verteilen sich rund drei Viertel der Investitionen auf Sachsen, Berlin und Bayern als starke Mikroelektronik-Forschungsstandorte. Weitere Standorte sind in Brandenburg, Nordrhein-Westfalen, Baden-Württemberg, Schleswig-Holstein und Thüringen angesiedelt. Eine zentrale Geschäftsstelle wird die Aktivitäten koordinieren und die zentrale Schnittstelle zu Industriepartnern bilden.